正文 珠海突围半导体设备业,国内首台晶圆级多驱解离刻蚀设备面世|界面新闻 江温文 V管理员 /2025-06-11 18:40:03/7阅读/0评论 0611 文章最后更新时间2025年06月11日,若文章内容或图片失效,请留言反馈! 界面新闻记者 | 张熹珑 广东珠海是国内集成电路起步最早的城市之一,但长期以来设计业“一业独大”。现在,这座城市面向相对薄弱的制造环节进军。 5月23日,珠海恒格微电子装备有限公司(简称“恒格微电子”)发布国内首台晶圆级等离子多